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【2h】

A capacitive probe with shaped probe bias for ion flux measurements in depositing plasmas

机译：具有定形探针偏置的电容式探针，可用于测量沉积等离子体中的离子通量

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Petcu, MC Maria; Bronneberg, AC Aafke; Sarkar, A Anitha; Blauw, MA Michiel; Creatore, M Adriana; Sanden, van de, MCM Richard;
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年度 2008
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